光譜共焦厚高測量儀系統(tǒng)解決方案

產(chǎn)品概述及原理

光譜共焦厚高測量儀系統(tǒng)的特點(diǎn)是非接觸, 非破壞方式測量，無需樣品的前處理，軟件支持Windows操作系統(tǒng)等。光譜共焦厚高測量儀系統(tǒng)是利用白光干涉測量的原理，對樣品進(jìn)行高度及厚度測量及分析。用一個寬波段的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù)，由于反射率和隨膜厚的不同而變化，光譜共焦厚高測量儀根據(jù)這一特性來進(jìn)行曲線擬合從而求得樣品的厚度與高度。

產(chǎn)品優(yōu)勢與特點(diǎn)

采用光譜共焦技術(shù)，非接觸測量。高性能納米級檢測設(shè)備，檢測速度快，測量精度可達(dá)正負(fù)0.1um，核心部件使用高分辨率、高靈敏度光纖光譜儀，多達(dá)3648像素的CCD陣列，為測量結(jié)果的準(zhǔn)確性提供了可靠的保證。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

它非常適合測量半導(dǎo)體、LCD、TFT、PDP、LED、觸摸屏、汽車車燈、醫(yī)學(xué)、太陽能、聚合物薄膜、眼鏡等光學(xué)元件的膜厚測量。

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

 量程 2500um

 線性度 0.3um

 分辨率 0.3um

 光斑直徑 14um

工業(yè)紫外可見光纖光譜儀

寬譜光纖光譜儀

2W脈沖氙燈

氘燈光源